POSIFA PVC1000系列微型皮拉尼真空传感器PVC3001PVC3004
PVC1000系列MEMS微型皮拉尼-真空传感器提供了性的真空测量解决方案,不但体积小,而且具有低功耗、**命、低现场维护和低成本的优点。依据气体热导率与低真空范围的压力成正比的原理,博思发科技公司的微型皮拉尼真空传感器测星加热元件电阻值的微小变化,这一变化产生的原因是热量传递到周围气体而引起的温度改变,与气体热导率相关。加热元件(测量电阻)由位于绝热膜上的铂薄膜电阻构成。绝热膜悬浮在一个微加工的空腔上,空腔底部表面与绝热膜平行,以确保测量热导率。因为只需要少量气体(腔内体积)就可以实现高精度的测量,以博思发科技公司的微型皮拉尼真空传感器具有低功耗和快速响应时间。传感器芯片上有一个参考电阻,具有与测量电阻相同的温度系数(TCR),可用来做环境温度补偿。
采用MEMS技术生产的微型皮拉尼
真空传感器,在小型化的同时,实现了高可靠性、低成本、使用方便和低功耗,PVC1000系列产品已成为行业标准。采用PVC1000系列传感器可以帮助客户改进现有产品并开发出创新产品。
T特点:
低功耗<5 mw
快速响应时间<5 mSec
适用低至0.1 cm3的气体体积长期稳定
可浸入溶剂中清洗,延长使用寿命应用:
密闭真空系统的泄漏jian ce 真kong bao装机
便捷式数字真空计大额定值:
工作温度:-25至85°C存储温度:-40
至90c
冲击: